Raws li cov roj nitrate technology thiab cov chaw tsim khoom lag luam, cov qauv siv hluav taws xob muaj peev xwm muab tau cov qauv siv rau cov micro-zaub.
Raws li cov qauv kev tsim tsuaj hlau ntawm indium gallium nitride (InGaN) Ntau yam quantum wells, University of Michigan tau tsim ib qhov teeb meem ntawm cov teeb liab kub-ntsuab-ntsuab-ntsuab (Daim duab 1). Lub lim dej engineering yog ua tiav los ntawm etching txawv diameters ntawm nano-kab.
Daim duab 1. Cov kab ntawv ntau ntawm cov txheej txheem nano-sab coj los ntawm cov khoom saum toj kawg nkaus
Cov neeg tshawb xyuas vam tias yuav tsim tau lub liab-ntsuab-xiav coj yav tom ntej nrog 635nm luminous quantum zoo, muab ib txoj hau kev rau micro-zaub raws li qhov teeb meem ntawm pixel. Lwm daim ntawv muaj peev xwm muaj xws li lub teeb taws, biosensors thiab noob caj noob ces.
Ntxiv nrog rau kev txhawb nqa los ntawm National Science Foundation (NSF), Samsung txhawb kev tsim thiab cuab yeej tsim. Cov neeg tshawb xyuas vam tias yuav tsim ib qho kev sib txuam theem sib txig sib txig ntawm cov tub ntxhais ntse raws li kev tsim khoom lag luam.
Epitaxial cov ntaub ntawv yog zus rau ntawm 2-nti tsis muaj qauv sapphires los ntawm kev siv cov hlau-organic tshuaj lom dej vapor deposition (MOCVD). Cov cheeb tsam uas muaj luminous muaj 5 2 5nm InGaN cuab sib cais los ntawm lub rooj vag 12nm ntshav. Cov txheej txheem hluav taws xob thiab txheej txheem P-tiv thaiv yog muaj li ntawm 20nm gallium nitride (P-al0.2ga0.8N) thiab 150nm P-kan feem.
Lub Nano-kem yog tsim los ntawm kev siv electron beam lithography, thiab lub npog qhov npog siv rau qhov sib xyaw xyaw thiab cov txheej txheem qhuav. Feem ntau ntawm cov pob taws yog qhuav inductively coupled plasma, thiab cov txheej txheem ntub etching yog siv los ua kom tiav cov kab suab kawg thiab kom tshem tawm kev puas tsuaj los ntawm cov kev ua kom qhuav etching. Lub qhov etching yog txog 300nm. Thaum lub sij hawm tag nrho cov txheej txheem kev tsim, lub npog qhov ncauj tiv thaiv yog kev tiv thaiv los tiv thaiv qhov P-nt nto.
Tom qab cov tshuaj kua dej khov lawm (PECVD) ntawm 50nm silicon nitride tau ua, cov qauv no yog tsim los ntawm siv lub iav uas muaj kabmob uas muaj kabmob ua ke kom pom N thiab P-Qho qhov chaw.
Qhuav hom corrosion ntawm tus qauv pav ca kom pom lub hau ntawm kem. Tshem tawm cov khoom siv npog npog nrog nitric acid kua. P-Sib cuag Nickel / kub metallization yog thev ntab hauv pa.
Qhov hluav taws xob ua tau zoo ntawm tus ntaus cim qhia tau hais tias tsis muaj leakage txog 3x10-7a ib pixel ntawm 5V rov qab thuam. Qhov qis tsis yog los ntawm ob yam tseem ceeb-tus flattened quantum zoo muab cov nyhuv uas tsis tshua muaj neeg coob tam sim no, thiab txwv tsis pub muaj kev sib tw ua rau lub hauv paus ntawm lub nano-kem. Txoj kev pheej hmoo ntawm kev txo qis dua vim muaj qhov hnyav dua ntawm qhov muaj zog ntawm lub cev zuj zus tuaj yeem kho los ntawm kev txo qis, thiab txo qhov qis qis "stark effect" ntawm lub teb hluav taws xob los ntawm qhov nqi hluav taws xob polarization ntawm cov tshuaj bonds hauv cov-nitride.
Lub pixels muaj txhua kab nrog ntau diameters thiab txawv xim (daim duab 2). Raws li txoj kab nruab nrab, lub wavelength ntev dua thiab qhov txawv yog ntau dua. Cov neeg tshawb nrhiav tau hloov qhov kev hloov mus quantum zoo tuab qhov hloov ntawm cov wafer.
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Daim npav 2 (a) hauv chav tsev sov (487nm), Ntsuab (512nm), Txiv kab ntxwv (575nm) thiab Amber (600nm) teeb tau los ntawm 50nm, 100nm thiab 800nm inch nano kab thiab nyias zaj duab xis coj pixels.
(b) Lub teeb meem ntawm lub teeb uas tau los ntawm txoj kev xav ntawm kev nyuaj siab ib seem.
(c) Txoj hauj lwm ntawm lub ntsiab ncov nyob rau hauv ntau qhov sib dhos.
Nrog rau kev nce ntawm qhov muaj zog thiab tam sim no kev txhaj tshuaj, ntau thiab ntau xoob qis nanotubes kuj qhia tsawg dua wavelength xiav ua haujlwm. 800nm taub nano kem pixel xiav ua haujlwm ntawm 2.8V thiab 4V yog 40nm. Qhov no yog vim cov pab pawg neeg tshawb fawb tau ua los ntawm kev sib tw-tub ntxhais kev sib tw nyob hauv lub cuab.
Cov pab pawg tau kho qhov kev sib tw ntawm qhov kev hloov siab thiab hloov cov kev siv los ntawm kev ntsuas cov plhaw zaus, yog li tswj qhov kev tawm hauv lub pixels ntawm qhov pixels. Los ntawm qhov kev sim no, nws pom tau tias txhua hom pixel muab qhov ruaj khov wavelength thiab cov txheeb ze electroluminescence sib luag, thiab lub luag hauj lwm piv ntawm qhov teeb meem plawv hloov lawm yuav tsum tau hloov lawm. Lub plhaub dav yog 400μs. Pulse zaus txawv ntawm 200Hz thiab 2000Hz.
